Materiale cheie utilizate în țintele de pulverizare pentru acoperiri cu peliculă subțire

Procesul de pulverizare catodică vaporizează un material sursă, numit țintă, pentru a depune o peliculă subțire, de înaltă performanță, pe produse precum semiconductori, sticlă și afișaje. Compoziția țintei definește direct proprietățile acoperirii, ceea ce face ca alegerea materialului să fie critică.

Se utilizează o gamă largă de metale, fiecare selectat pentru avantaje funcționale specifice:

Metale de fundație pentru electronică și straturi intermediare

Cuprul de înaltă puritate este apreciat pentru conductivitatea sa electrică excepțională. Țintele de cupru pur 99,9995% sunt esențiale pentru crearea cablajelor microscopice (interconexiunilor) din interiorul microcipurilor avansate, unde rezistența electrică minimă este primordială pentru viteză și eficiență.

Nichelul de înaltă puritate servește ca un material versatil. Este utilizat în principal ca un strat de aderență excelent și o barieră de difuzie fiabilă, împiedicând amestecarea diferitelor materiale și asigurând integritatea structurală și longevitatea dispozitivelor multistrat.

Metalele refractare precum tungstenul (W) și molibdenul (Mo) sunt apreciate pentru rezistența lor ridicată la căldură și stabilitatea lor, fiind adesea utilizate ca bariere robuste de difuzie și pentru contacte în medii solicitante.

Metale funcționale specializate

Argintul de înaltă puritate oferă cea mai mare conductivitate electrică și termică dintre toate metalele. Acest lucru îl face ideal pentru depunerea de electrozi transparenți, extrem de conductivi, pe ecrane tactile și acoperiri cu reflexie strălucitoare și emisivitate redusă pe ferestrele economice.

Metalele prețioase precum aurul (Au) și platina (Pt) sunt utilizate pentru contacte electrice extrem de fiabile și rezistente la coroziune, precum și în senzori specializați.

Metalele de tranziție precum titanul (Ti) și tantalul (Ta) sunt cruciale pentru proprietățile lor excelente de aderență și barieră, formând adesea stratul fundamental pe un substrat înainte de aplicarea altor materiale.

Deși acest set divers de materiale permite utilizarea tehnologiei moderne, performanța cuprului pentru conductivitate, a nichelului pentru fiabilitate și a argintului pentru reflectivitate supremă rămâne de neegalat în aplicațiile lor respective. Calitatea constantă a acestor metale de înaltă puritate este fundamentul acoperirilor cu peliculă subțire de înaltă performanță.